玻璃，這是一種非常常見的東西，通常知道的玻璃是按照應用來劃分的，如瓶罐玻璃、窗玻璃、汽車玻璃等。雖然大部分玻璃看上去大同小異，但應用不同，玻璃的材料、制作方式等都是不一樣的。電真空玻璃就更加是這樣，雖然乍眼看上去覺得很平凡普通，但其實并沒有那么簡單。

電真空器件，如光電倍增管、光源產(chǎn)品等，是根據(jù)具體的用途選擇不同的封裝材料，除了玻璃以外還有金屬、陶瓷等。但因玻璃在成本、制造工藝、透光性上都具有優(yōu)勢，所以是目前應用最廣泛的材料，此種玻璃即為電真空玻璃，廣泛應用于真空電子技術、微電子技術、激光和紅外技術、電光源、高能物理等方面；在宇航工業(yè)、能源、汽車工業(yè)、化學工業(yè)等領域有著極其重要的作用。具體而言，主要用于制作電真空器件的玻璃外殼、玻璃芯柱以及排氣管和連接件等，如光電倍增管、光源的外殼。

圖1 濱松光電倍增管

圖2 濱松光源產(chǎn)品

材質(zhì)：這些玻璃，是用什么做的？

電真空玻璃按照化學組成一般分為以下幾類：鈉鈣硅玻璃、鉛硅酸鹽玻璃、硼硅酸鹽玻璃、鋁硅酸鹽玻璃、石英玻璃等。玻璃成分的匹配往往是根據(jù)不同的性能需求來決定。不同組成及配比會導致玻璃的熱膨脹系數(shù)（熱引起的膨脹或者縮小）、電絕緣性、可塑性、透過率等特性有很大區(qū)別，而電真空玻璃在這幾方面都有較高的要求。

電真空器件常會在高溫高壓高頻等條件下使用，因此要求其玻璃必須能夠承受這樣的使用環(huán)境。具有良好的電絕緣性則是其中一個非常重要的要求，即導電率和介電損失要小，在使用溫度內(nèi)保證足夠的電阻率。

由于在燈泡芯柱與電子管中，其兩電極相距很近，故在工作狀態(tài)下兩極之間總是會存在一定的電勢差，這就要求玻璃在電勢差的作用下，不被擊穿而造成短路。有時這種電勢差是很大的，如制造顯像管的玻璃，為使電子束能夠獲得激發(fā)熒光屏發(fā)光的能量，就需要承受10000V以上的工作電壓，這就要求電真空玻璃應具有優(yōu)良的電絕緣性，否則就不能在電子領域中得到廣泛的應用。

一般用電阻率溫度系數(shù)Tk-100衡量電真空玻璃電絕緣性的好壞，電子領域要求Tk-100越高越好。由于大多數(shù)玻璃幾乎不存在電子導電，玻璃的導電主要歸因于堿金屬離子在電場作用下的定向移動。因此，玻璃的電絕緣性能主要由其化學成分決定，調(diào)節(jié)堿金屬離子的含量是控制玻璃電絕緣性能的有效辦法。

此外，電真空玻璃具有良好的可塑性也極其重要，以便在制造過程中能夠形成各種復雜的形狀或尺寸，否則，技藝再高超也難做的理想?？伤苄耘c玻璃的粘度有直接關系。粘度隨溫度變化的快慢是一個很重要的玻璃生產(chǎn)指標，常稱其為玻璃的料性（即可塑性），粘度隨溫度變化快的玻璃稱為短性玻璃，反之稱為長性玻璃。一般來講，長性玻璃比較易于加工。

圖3 技術工人正在吹制玻璃

不同的應用、玻璃不同部位對不同波段光的透過率要求是不同的，如光電倍增管，玻殼部分通常為可見光透過，材料一般選擇為硅酸硼玻璃，而窗口玻璃會有較多選擇，如可透過可見光的硅硼酸玻璃，可透過紫外光的紫外透過玻璃或者石英玻璃，可透過真空紫外的單晶體MgF₂，可透過紅外光的單晶體藍寶石等等。另外，因為玻殼需要融化到金屬終端引腳上，所以其處理方法、玻璃材料和用在窗口上玻璃是不一樣的。

此外，還有一些極其特殊應用下的材料是很特別的。如獲得2014“IEEE里程碑”殊榮的世界最大光電倍增管——濱松20英寸光電倍增管，其玻璃使用的是一種稱為“HARIO32”的材料。

圖4 濱松20英寸光電倍增管

圖5 濱松20英寸光電倍增管的制作

因為濱松20英寸光電倍增管是用于中微子的探測，在實驗中會長期置于幾萬噸的純水之下，因此對材料的防水性要求是極高的。“HARIO 32”是一種硬化玻璃，其熱膨脹系數(shù)較低（僅為32），具有很高的防水性，以及其他匹配特性，被選為20英寸光電倍增管玻璃的材料。

圖6 超級神岡實驗中的濱松20英寸光電倍增管

工藝：這些玻璃，是怎么做的？

玻璃制品加工技術需要經(jīng)驗和隱性知識。這種手工藝在工人間人手相傳。而要想同時獲得產(chǎn)量和質(zhì)量需要把這種隱性知識轉(zhuǎn)變?yōu)檎街R，然后用這種知識形成玻璃制造的自動過程。

其工藝包括玻璃熔制、成型、遞級封接，高頻封接等。還有一些技術不需要加熱就可處理玻璃，比如切割、研磨或者上色等。玻璃制造的另一個關鍵技術是玻璃形狀、模具和夾具的設計技術，這些需要通過使用電腦仿真，并憑借多年的經(jīng)驗來完成。

玻璃熔制是將配合料經(jīng)過高溫加熱形成均勻的無氣泡的、并符合成型條件要求的玻璃液的過程。玻璃的很多缺陷，例如氣泡、結(jié)石、條紋等都是在熔制過程中造成的，所以尋求合理的工藝過程和治理合理的熔制制度，是獲得優(yōu)質(zhì)玻璃的重要環(huán)節(jié)。

圖7 技術工人作業(yè)中

根據(jù)玻璃的應用不同，后期成形方法也是不同的。瓶罐玻璃使用模具吹制而成（如圖3）；平板玻璃（如窗玻璃）使用“浮法”制成；玻璃盤是壓制出來的。電真空玻璃一般采用吹制，拉制為主。如玻璃芯柱產(chǎn)品可以通過加熱來把玻璃熔化到金屬上，也可通過壓模或者電爐制模來成型，制造出終端布局、尺寸和形狀不同的芯柱，以匹配器件的結(jié)構(gòu)。

圖8 施壓成型的部件

圖9 高頻加熱和電爐鑄造的部件

石英、MgF₂和藍寶石等窗口材料的熱膨脹系數(shù)與玻殼使用的硅酸硼玻璃的熱膨脹系數(shù)差異較大。因此，直接把二者結(jié)合會由于不同的熱膨脹系數(shù)引起變形而導致爆裂或破裂。為了解決這個問題，使用了“非匹配玻璃的過渡封接”處理技術，通過使用多種熱膨脹系數(shù)不同但漸變的中介玻璃逐級封接。

藍寶石和MgF₂窗口使用的是軟玻璃，因此需要軟玻璃到硬玻璃的遞級封接，石英窗口則需要石英到硬玻璃的遞級封接。在濱松有一個石英過渡節(jié)的制作，是石英玻璃到鉬組玻璃的封接，需要把7-8種膨脹系數(shù)漸變的玻璃結(jié)合在一起，中間有5種玻璃的連接，整體封接寬度不允許超過13mm，厚度僅在0.4mm~0.7mm，不但要保證多種玻璃的良好熔封，還要保持平整良好的外觀，加工難度極大，且全部靠手工完成。

圖10 石英玻璃到硬玻璃的遞級封接

圖11 軟玻璃到硬玻璃的遞級封接

另外，為了匹配光學特性，窗口尺寸和形狀都有所不同。圓形或者球形的窗口通常比其他形狀更加堅固和穩(wěn)定。然而，為了光電倍增管的特性，如今已經(jīng)制造了形狀更加復雜的玻璃窗口。

圖12 用于濱松電真空器件的不同形狀窗口

電真空玻璃的加工，都是人手手工操作，因為是精密器件的重要配件，因此對誤差要求非常的嚴格，這往往需要有經(jīng)驗和技術的工人們的高超手藝。雖然成品看起來可能覺得和其他許多玻璃器件無異，但是其在工藝和材料組成上卻是完全不一樣。

儲存：這些玻璃，需要特殊的保存嗎？

到這里，你是否已對電真空玻璃有了不一樣的認識？材料的甄選，外形的制作，不同元素玻璃的融合、過渡，都是玻璃工匠們從頭到尾一手把控，最后形成精密探測器的重要部分。 由于電真空玻璃有著特殊的使用性能，因此保存條件也相對于其他玻璃來說，需要額外特別特別注意：

1. 1.經(jīng)包裝的產(chǎn)品應儲存在-15℃～45℃

2. 2.相對濕度不大于80%

3. 3.空氣中不含酸、堿蒸汽及其它有害的腐蝕氣體

4. 4.通風良好的環(huán)境中。

此外，一些特種電真空玻璃，還需要用惰性氣體保護，以避免玻璃的變質(zhì)（沒錯，玻璃也是會變質(zhì)的哦）。而最緊要的是，在使用光電倍增管、光源等一系列電真空器件時，提前翻看制品的保存說明或向相關專業(yè)人員咨詢，并嚴格照辦，這樣才能最大程度的保證產(chǎn)品的性能。